Tarkkuusosien käsittely ei voi suorittaa kaikkia pintojen käsittelyprosessia yhdessä prosessissa. Tarkkuusosien käsittelyn koko työstöprosessi voidaan jakaa seuraaviin vaiheisiin:
(1) Kiillotusvaihe. Suurin osa työstöannoksista poistetaan kustakin työstetystä pinnasta ja tehdään hienot referenssit. Päätavoitteena on lisätä tuottavuutta mahdollisimman paljon.
(2) Semi-viimeistelyvaihe. Väärennösten poistaminen, jotka voivat tapahtua karkean työstämisen jälkeen, valmistelee pintaa viimeistelyn työstöön, vaatii tietyn työstystarkkuuden, takaa sopivan viimeistelyn ja täydentää toisiopintojen työstöä samanaikaisesti.
(3) viimeistelyvaihe. Tässä vaiheessa käytetään suurta leikkausnopeutta, pienen syöttönopeuden ja leikkauksen syvyyden, jolla poistetaan edellisestä prosessista jäljellä oleva viimeistelyvaraus siten, että osan pinta saavuttaa kuvion tekniset vaatimukset.
(4) viimeistelyvaihe. Sitä käytetään lähinnä pinnan karkeuden arvon pienentämiseen tai työstetyn pinnan vahvistamiseen. Sitä käytetään pääasiassa pintakäsittelyyn, jolla on korkea pinnan karheus (ra ≤0,32 μm).
Erittäin tarkka käsittelyvaihe. Jalostuksen tarkkuus on 0,1-0,01μm ja pinnan karheusarvo on ra <> Tärkeimmät prosessointimenetelmät ovat: tarkkuusleikkaus, tarkkuuspeilin hiominen, tarkkuus hionta ja kiillotus jne